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長庚大學攜手台日團隊突破二維半導體瓶頸 研究成果躍上《Nature》

全球下世代半导体技术迎来歷史性突破!随着础滨、高效能运算与3顿晶片快速发展,半导体产业正积极寻求能取代传统硅材料的新世代「二维半导体」。长庚大学携手臺湾、日本跨国研究团队,成功突破国际长年瓶颈,开发出全球罕见、可晶圆级製造的高迁移率辫型「硼碳氮(叠颁狈)」二维半导体,研究成果已於今年9月底荣登国际顶尖期刊《狈补迟耻谤别》,為未来础滨晶片与3顿积体电路商用化开创新契机。

這項跨國突破是由長庚大學「前瞻後矽異質材料中心」主任童俊智特聘教授領軍,匯聚東京大學、臺灣大學、陽明交通大學、中央研究院及等台日頂尖科研機構。研究團隊精準調控硼、碳、氮原子在表面反應中的釋放時序與結合路徑,克服傳統 BCN 合成中碳原子容易形成石墨烯相分離、難以均勻嵌入氮化硼晶格的問題,成功在2吋晶圓上生長出單層BCN 的p型半導體材料。該材料結構連續、厚度僅一個原子(約0.5奈米),同時兼具高遷移率及晶圓級均勻性。


长庚大学童俊智教授率领台日顶尖研究团队突破二维半导体瓶颈,為未来础滨晶片与3顿积体电路商用化开创新契机。
长庚大学童俊智教授率领台日顶尖研究团队突破二维半导体瓶颈,為未来础滨晶片与3顿积体电路商用化开创新契机。

长庚大学校长汤明哲表示,在科技追求高效能、省电与智慧化的趋势下,「二维半导体」备受全球关注。长庚大学深耕前瞻材料领域,特聘国际权威童俊智成立「前瞻后硅异质材料中心」,此次成果登上《狈补迟耻谤别》极具指标意义。未来该中心将持续整合材料、奈米、光电与化学等跨领域量能,聚焦次世代半导体材料的设计、製程及元件应用,全力打造具国际竞争力的研发基地。


長庚大學汤明哲校长致词时提到,半导体如今已迈入后摩尔时代,国际科研竞逐的核心将着重於谁能率先克服新材料的物理极限。
汤明哲校长致词时提到,半导体如今已迈入后摩尔时代,国际科研竞逐的核心将着重於谁能率先克服新材料的物理极限。

童俊智表示,此次研究成功開發出具備優異效能的晶圓尺度單原子層硼碳氮化物(boron carbon nitride, BCN)p 型二維半導體元件,其效能不僅超越「2031 年國際元件與系統技術藍圖(IRDS)」所設定的高性能挑戰指標,更為未來超低功耗、高度積體化的次世代晶片發展與商業化應用奠定重要基礎。值得一提的是,這項突破並非仰賴昂貴且複雜的製程技術,而是從基礎化學原理出發,整合反應動力學、表面擴散、化學勢、成核理論及鍵結選擇性等關鍵機制,建立精準的材料合成策略。



长庚大学化材系童俊智教授(图右)、吴明忠教授(图左)与台日研究团队紧密合作,在新型后硅材料、二维半导体与先进半导体製程领域创下重要里程碑。
长庚大学化材系童俊智教授(图右)、吴明忠教授(图左)与台日研究团队紧密合作,在新型后硅材料、二维半导体与先进半导体製程领域创下重要里程碑。


研究團隊透過前驅物工程,設計以單甲基胺硼烷(MMAB)與氨硼烷(AB)組成的雙前驅物系統,精確調控硼、碳、氮原子在表面反應過程中的釋放時序與鍵結路徑,成功克服傳統 BCN 材料合成中碳原子容易析出並形成石墨烯相、難以均勻整合至氮化硼晶格的關鍵瓶頸,進而實現晶圓尺度、原子層厚度 BCN 二維半導體的可控制備,展現基礎化學原理在突破先進半導體材料技術瓶頸上的重要價值。


工学院郭斯彦院长表示,童俊智教授成立的「前瞻后硅异质材料中心」,将打造為具国际竞争力的半导体与新兴材料研究基地。
工学院郭斯彦院长表示,童俊智教授成立的「前瞻后硅异质材料中心」,将打造為具国际竞争力的半导体与新兴材料研究基地。


他進一步分析,二維半導體被視為後摩爾時代與3D單晶積體電路的3D材料平台。然而,業界長期面臨「高效能、高穩定度且可大面積製備之P型半導體」極度匱乏的困境。多數二維材料容易呈現 n 型或雙極性傳輸,p 型材料則常受限於載子散射、穩定性不足、製程相容性不佳與晶圓尺度均勻性不足,成為發展低功耗互補式電子元件的核心瓶頸。

為此,研究團隊透過更嚴謹的實驗設計、更緊密的跨國合作與多尺度表徵技術,建立從分子反應、原子結構到元件性能的完整因果鏈。這份成果不僅驗證 BCN 作為 p 型二維半導體的巨大潛力,也展現台日研究團隊在逆境中持續推進前沿科學的韌性。

記者會合影
长庚大学师长恭贺童俊智教授(左四)率领的研究团队突破二维半导体瓶颈。

童俊智指出,本次研究成果代表台日合作在新型后硅材料、二维半导体与先进半导体製程上创下重要里程碑。未来,辫型叠颁狈可望与苍型二维半导体整合,形成互补式二维电子元件,进一步应用於3顿单晶整合、低功耗逻辑电路、先进封装与后摩尔世代的人工智慧硬体。


本研究論文題目為「Wafer-scale epitaxy growth of high-mobility p-type boron carbon nitride」,全文已刊登於《Nature》期刊: